Welke factoren zullen de coatingprestaties van de vacuümcoatingmachine beïnvloeden?

Welke factoren zullen de coatingprestaties beïnvloeden vacuümcoatingmachine ?

Als een vacuümcoatingmachine een goede film wil coaten, moet het ervoor zorgen dat veel factoren zich in een normale toestand bevinden, zoals vacuümcoating, basisdoelafstand, verdampingstemperatuur, substraattemperatuur, resterende gasdruk en andere factoren. Er is een afwijking in een bepaalde factor. Het heeft invloed op de prestaties van de coatinglaag van de vacuümcoatingmachine. Het volgende is een vacuümeditor om in detail uit te leggen welke factoren de coatingprestaties van de vacuümcoatingmachine zullen beïnvloeden. Ik hoop dat het je kan helpen:

1. Verdampingssnelheid

De grootte van de verdampingssnelheid heeft een grote invloed op de afgezette film. Aangezien de coatingstructuur gevormd door de lage afzettingssnelheid los is en gemakkelijk te afwijzen grote deeltjes is, om de compactheid van de coatingstructuur te waarborgen, is het zeer veilig om een ​​hogere verdampingssnelheid te kiezen. Wanneer de druk van het resterende gas in de vacuümkamer constant is, is het bombardement van het bombarderen van het substraat een constante waarde. Daarom zal na het selecteren van een hogere afzettingssnelheid het resterende gas in de afgezette film worden verminderd, waardoor de chemische reactie tussen de resterende gasmoleculen en de deeltjes van het verdampte filmmateriaal wordt verminderd. Daarom kan de zuiverheid van de afgezette film worden verbeterd. Opgemerkt moet worden dat als de afzettingssnelheid te hoog is, dit de interne stress van de film kan verhogen, wat resulteert in een toename van defecten in de filmlaag en zelfs in ernstige gevallen de filmlaag kraken. In het bijzonder kan bij het proces van reactieve verdamping een lagere afzettingssnelheid worden geselecteerd om het reactiegas en de verdampte filmmateriaaldeeltjes voldoende te kunnen reageren. Natuurlijk moeten verschillende verdampingssnelheden worden gebruikt voor verschillende materiaalverdamping. Als een praktisch voorbeeld van hoe een lage afzettingssnelheid de prestaties van een film kan beïnvloeden, is de afzetting van een reflecterende film. Wanneer de filmdikte bijvoorbeeld 600x10-8cm is en de verdampingstijd 3s is, is de reflectiviteit 93%. Als de verdampingssnelheid echter wordt vertraagd onder dezelfde filmdikte, duurt het 10 minuten om de filmafzetting te voltooien. Op dit moment is de dikte van de film hetzelfde. De reflectiviteit is echter gedaald tot 68%.

2. Substraattemperatuur

De substraattemperatuur heeft ook een groot effect op de verdampingscoating. Residuele gasmoleculen geadsorbeerd op het substraatoppervlak bij hoge substraattemperaturen kunnen gemakkelijk worden verwijderd. In het bijzonder is de uitsluiting van waterdampmoleculen belangrijker. Bovendien is het niet alleen eenvoudig om de overgang van fysieke adsorptie naar chemische adsorptie bij een hogere temperatuur te bevorderen, waardoor de bindkracht tussen deeltjes wordt verhoogd. Bovendien kan het verschil tussen de herkristallisatietemperatuur van de dampmoleculen en de substraattemperatuur worden verlaagd, waardoor de interne spanning op het interface van de film-substraat wordt verminderd of geëlimineerd. Omdat de substraattemperatuur gerelateerd is aan de kristallijne toestand van de film, worden bovendien amorfe of microkristallijne coatings meestal gemakkelijk gevormd onder lage of geen verwarmingsomstandigheden op het substraat. Omgekeerd, wanneer de temperatuur hoger is, is het gemakkelijk om een ​​kristallijne coating te genereren. Het verhogen van de substraattemperatuur is ook gunstig voor de verbetering van de mechanische eigenschappen van de coating. Natuurlijk zou de substraattemperatuur niet te hoog moeten zijn om herverdamping van de verdampte coating te voorkomen.

3. Invloed van resterende gasdruk in vacuümkamer op filmprestaties

De druk van het resterende gas in de vacuümkamer heeft een grote invloed op de membraanprestaties. Als de druk te hoog is, zijn de resterende gasmoleculen niet alleen gemakkelijk te botsen met de verdampte deeltjes, zodat de kinetische energie van de mensen die op het substraat schieten wordt verminderd, wat de hechting van de film beïnvloedt. Bovendien zal overmatige resterende gasdruk de zuiverheid van het membraan ernstig beïnvloeden en de prestaties van de coating verminderen.

4. Het effect van verdampingstemperatuur op de verdampingscoating

Het effect van verdampingstemperatuur op filmprestaties wordt aangetoond door de verdampingssnelheid als een functie van temperatuur. Wanneer de verdampingstemperatuur hoog is, zal de verdampingswarmte afnemen. Als het filmmateriaal boven de verdampingstemperatuur wordt verdampt, kan zelfs een kleine temperatuurverandering een snelle verandering in de verdampingssnelheid van het filmmateriaal veroorzaken. Daarom is het erg belangrijk om de verdamptemperatuur tijdens de afzetting van de film nauwkeurig te regelen om een ​​grote temperatuurgradiënt te voorkomen wanneer de verdampingsbron wordt verwarmd. Voor het filmmateriaal dat gemakkelijk subliem is, wordt het filmmateriaal zelf geselecteerd als de verwarming en zijn maatregelen zoals verdamping ook erg belangrijk. .

De bovenstaande vier aspecten zijn de gemeenschappelijke factoren die de prestaties van de coatinglaag van de vacuümcoatingmachine beïnvloeden, en ze zijn ook de conventionele beïnvloedende factoren. Tijdens het coatingproces van de vacuümcoatingmachine is het noodzakelijk om ervoor te zorgen dat deze factoren zich in een normale toestand bevinden.