E -mail: coating@dankovac.com
Tel:+86-13486478562
Taal Productconsult
Uw e -mailadres wordt niet gepubliceerd. Vereiste velden zijn gemarkeerd *
Vacuümcoatingmachine Verwijst voornamelijk naar een soort coating dat moet worden uitgevoerd onder een hoger vacuüm, waaronder vele soorten, waaronder verdamping van vacuümweerstandverwarming, verdamping van elektronenpistoolverwarming, magnetronsputteren, MBE moleculaire bundel epitaxy, PLD -laser sputteringsafzetting, ionen Er zijn veel soorten bundelbundel. Het belangrijkste idee is verdeeld in twee soorten verdamping en sputteren.
Elektrische bedieningskast werking
1. Schakel de waterpomp en luchtbron in.
2. Schakel de hoofdvoeding in.
3. Schakel de voeding van de onderhoudspomp en de vacuümmeter in, de vacuümmeterpositie V1, wacht tot de waarde minder dan 10 is en voer vervolgens de volgende stap in. Het duurt ongeveer 5 minuten.
4. Schakel de mechanische pomp in, pre-pomp, zet het vermogen van de turbo-moleculaire pomp aan en start deze. De vacuümmeterschakelaar wordt gewijzigd in de V2 -positie. Het duurt ongeveer 20 minuten om te pompen tot minder dan 2.
5. Nadat je hebt opgemerkt dat de lezing van de turbomoleculaire pomp 250 bereikt, de pre-pomp uitschakelt, schakel je de rugpomp en de hoge vacuümklep in om door te gaan met stofzuigen. Nadat het vacuüm een bepaald niveau bereikt, schakelt u de hoge vacuümmeter aan de rechterkant aan om het vacuüm te observeren. Pas nadat het vacuüm 2 × 10-3 bereikt, kan de stroomvoorziening van het elektronenpistool worden ingeschakeld.
1. Schakel de waterpomp en luchtbron in.
2. Schakel de hoofdvoeding in.
3. Schakel de voeding van de onderhoudspomp en de vacuümmeter in, de vacuümmeterpositie V1, wacht tot de waarde minder dan 10 is en voer vervolgens de volgende stap in. Het duurt ongeveer 5 minuten.
4. Schakel de mechanische pomp in, pre-pomp, zet het vermogen van de turbo-moleculaire pomp aan en start deze. De vacuümmeterschakelaar wordt gewijzigd in de V2 -positie. Het duurt ongeveer 20 minuten om te pompen tot minder dan 2.
5. Nadat je hebt opgemerkt dat de lezing van de turbomoleculaire pomp 250 bereikt, de pre-pomp uitschakelt, schakel je de rugpomp en de hoge vacuümklep in om door te gaan met stofzuigen. Nadat het vacuüm een bepaald niveau bereikt, schakelt u de hoge vacuümmeter aan de rechterkant aan om het vacuüm te observeren. Pas nadat het vacuüm 2 × 10-3 bereikt, kan de stroomvoorziening van het elektronenpistool worden ingeschakeld.
Def-6b werking
1. Totale voeding.
2. Schakel de elektronenpistoolregeling ⅰ en elektronenpistoolregeling ⅱ Tegelijkertijd ⅱ Sturing van elektronenwapens in aan: druk op de elektronenpistoolregeling ⅰ Voeding, vertragingsschakelaar, de vertraging, voeding en beveiligingslichten zijn aan. Na drie minuten zijn de vertraging- en beveiligingslichten uit. Als de achterdeur niet gesloten is of als het waterstroomrelais een mislukking heeft, zal het beschermingslicht altijd aan zijn.
3. Wanneer de hoge spanning wordt ingeschakeld, zal de hoogspanning meer dan 10 kV bereiken, de straalstroom kan worden aangepast aan ongeveer 200 mA, het gordijnraster is 20V/100MA, de gloeidraadstroom is 1,2a en de afbuigingstroom tussen 1 en 1.7.
Sluitsequentie
1. Schakel de hoge vacuümmeter en moleculaire pomp uit.
2. Wanneer het display van de moleculaire pomp 50 bereikt, zet u de hoge klep, de voorste podium en de mechanische pomp op de beurt uit. Deze periode duurt ongeveer 40 minuten.
3. Schakel de onderhoudspomp opnieuw uit.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -mail: coating@dankovac.com
Address: Nr. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, China
