Wat zijn de belangrijkste componenten van een vacuümcoatingsysteem?

1. Vacuümkamer

coatingapparatuur heeft voornamelijk twee vormen: de productielijn van de continue coating en een enkele kamercoatiemachine, roestvrijstalen materiaalproductie, argonbooglassen, chemische oppervlaktechemische polijstenbehandeling en verschillende specificaties van flensinterfaces worden gelast op de componenten van de vacuümkamer.

2, vacuüm acquisitiedeel

In vacuümtechnologie is het vacuümverwervingsgedeelte een belangrijk onderdeel. De verwerving van vacuüm kan niet worden bereikt door een enkele vacuümapparatuur en -methode. Verschillende pompen moeten in combinatie worden gebruikt, zoals mechanische pompen, wortelspompen, moleculaire pompsystemen, enz.

3, vacuüm meetgedeelte

Het vacuümmeetgedeelte van het vacuümsysteem is om de druk in de vacuümkamer te meten. Net als een vacuümpomp kan geen vacuümmeter het gehele vacuümbereik meten, zodat mensen vele soorten vacuümmeters hebben gemaakt volgens verschillende principes en vereisten. Zoals thermokoppelmeter, ionisatiemeter, pirani -meter, enz.

4. Onderdeel van de voeding

De doelvoeding omvat voornamelijk DC -voeding, tussenliggende frequentievoeding, pulsvoedingsvoorziening en radiofrequentievoeding (RF). Gemeenschappelijke fabrikanten van voeding zijn onder meer AE, ADL, Hottinger, enz.

5. Procesgasinvoersysteem

Procesgassen, zoals argon (AR), Krypton (KR), stikstof (N2), acetyleen (C2H2), methaan (CH4), waterstof (H2), zuurstof (O2), enz., Worden in het algemeen geleverd door gascilinders. Gasdrukvermindering, gasstopventiel, pijpleiding, gasstroommeter, magneetklep, piëzo -elektrische klep en vervolgens in de vacuümkamer. Het voordeel van dit gasinvoersysteem is dat de pijpleiding eenvoudig en duidelijk is en dat het de gascilinder gemakkelijk te repareren of te vervangen. De coatingmachines hebben geen invloed op elkaar. Er zijn ook gevallen waarin meerdere coatingmachines een set gasfilders delen. Deze situatie kan worden gezien in sommige grootschalige coatingworkshops. Het voordeel is dat het de bezetting van gascilinders, uniforme planning en uniforme lay -out vermindert. Het nadeel is dat vanwege de toename van het aantal gewrichten, de kans op luchtlekkage toeneemt. Bovendien zullen de coatingmachines elkaar interfereren en kan de pijpleiding van één coatingmachine lucht lekken, wat de productkwaliteit van andere coatingmachines kan beïnvloeden. Bij het vervangen van gascilinders is het bovendien noodzakelijk om ervoor te zorgen dat alle machines zich in een niet-GAS-toestand bevinden.

6. Mechanische transmissie -onderdeel

De coating vereist dat de dikte van de periferie uniform moet zijn. Daarom moeten er drie rotaties in het coatingproces zijn om aan de vereisten te voldoen. Dat wil zeggen, terwijl de grote werkstuktafel vereist is om te roteren (i), roteert de kleine werkstukdrager ook (II) en het werkstuk zelf tegelijkertijd (iii). In het mechanisch ontwerp is er over het algemeen een groot aandrijfuitrusting in het midden van de bodem van het grote werkstuk -draaitafel, en wat kleine sterrenwielen mesh ermee. Als het product moet worden gedraaid, wordt het werkstuk over het algemeen gedraaid door een schakelvork.

7, Verwarming en temperatuurmetingsgedeelte

Coatingapparatuur heeft over het algemeen kachels in verschillende posities en thermokoppels worden gebruikt om de temperatuur te meten en te regelen. Omdat de thermokoppelklempositie anders is dan de werkstukpositie, kan de temperatuurlezing niet de werkelijke temperatuur van het werkstuk zijn. Om de werkelijke temperatuur van het werkstuk te meten, zijn er veel methoden, u kunt utstestpapier of thermokoppelmeter op het werkstuk installeren.

8. Ionverdamping en sputteringsbron

De verdampingsbron van multi-arc-plateren is in het algemeen in de vorm van een ronde cake, algemeen bekend als een ronde cakedoel, en er zijn ook rechthoekige multi-arc-doelen. Een magneet is geïnstalleerd in de doelbasis. Door de magneet heen en weer te bewegen, wordt de intensiteit van het magnetische veld gewijzigd en kunnen de bewegende snelheid en het traject van de boogvlek worden aangepast. Om de temperatuur van het doel en de doelbasis te verlagen, moet de doelbasis continu worden geleverd met koelwater. Om een ​​hoge elektrische en thermische geleidbaarheid tussen het doel en de doelbasis te garanderen, kan ook een tinnen pakking worden toegevoegd tussen het doelwit en de doelbasis. Magnetron sputtercoating gebruikt over het algemeen rechthoekige of cilindrische sputteringskathoden.

9, waterkoelsysteem

Over het algemeen bestaat uit koude watertoren, ijswatermachine, waterpomp, enz.

10, Industrial Control System