Gemeenschappelijke vacuümlekdetectiemethoden

Lekdetectie door heliummassaspectrometrie

Deze technologie is een onmisbare technologie op het gebied van vacuümlekdetectie. Het wordt veel gebruikt bij lekdetectie vanwege de hoge lekdetectie -efficiëntie, eenvoudige werking, gevoelige instrumentrespons, hoge precisie en niet China PVD Coating Systems Leveranciers Gemakkelijk verstoord door andere gassen. De lekdetector van heliummassaspectrometer is een soort gasdetectieinstrument op basis van het massaspectrometrieprincipe, dat helium gebruikt als lekindicatorgas. Het bestaat uit een ionenbron, een analysator, een verzamelaar, een koude kathode -ionisatiemeter, een massaspectrometriekamer, een uitlaatsysteem en een elektrisch onderdeel. Elektronen die uit de gloeidraad worden uitgezonden in de massaspectrometriekamer oscilleren heen en weer in de kamer en botsen met het binnengas en helium die de kamer binnenkomen door het lekkende gat om te ioniseren in positieve ionen. Deze heliumionen komen het magnetische veld binnen onder de linker- en rechterhersenen van het versnelde elektrische veld en buigen door de werking van Lorentz -kracht af, waardoor een cirkelvormige boogbaan wordt gevormd en het versnelde elektrische veld wordt gewijzigd. Druk kan ionen van verschillende massa worden gedetecteerd door de ontvangende paal te bereiken via magnetische velden en slots te ontvangen. Helium -injectiemethode en heliumabsorptiemethode zijn de twee veelgebruikte methoden bij lekdetectie van heliummassaspectrometer.