Analyse van gemeenschappelijke verdampingscoatingtechnologie
1. Resistentie verdampingsplating: de resistentieverdampingsbron wordt gebruikt om materialen met een laag smeltpunt te verdampen, zoals goud, zilver, zinksulfide, magnesiumfluoride, chroomtrioxide, enz. Resistentieverdampingsbronnen zijn in het algemeen gemaakt van wolfraam, molybdeenum en tantaal.
2. Elektronenstraal Verdampingsplating : Nadat het filmmateriaal is verdampt en verdampt door elektronenstraalverwarming, wordt het gecondenseerd op het oppervlak van het substraat om een film te vormen, wat een belangrijke verwarmingsmethode is in vacuümverdampingstechnologie.
Er zijn veel soorten van dergelijke apparaten. Met de brede toepassing van dunne filmtechnologie zijn niet alleen de vereisten voor de soorten membranen verschillend, maar ook de vereisten voor de kwaliteit van de membranen zijn strenger.
Weerstandverdamping kan niet langer voldoen aan de behoeften van verdamping van sommige metalen en niet-metalen. De warmtebron van de elektronenstraal kan een veel grotere energiedichtheid verkrijgen dan de weerstandswarmte, en de waarde kan 104-109W/cm2 bereiken, zodat de film kan worden verwarmd tot 3000-6000c.
Dit biedt een betere warmtebron voor het verdampen van refractaire metalen en niet-metalen materialen zoals Tungsten, Molybdeum, Germanium, SiO2, AI2O3, enz. Bovendien, aangezien het materiaal dat wordt verdampt, wordt geplaatst in een watergekoelde smeltkroes, de verdamping van het container materiaal en de reactie van het container-materiaal en de reactie van het bevoegt van de film.
Bovendien kan warmte direct worden toegevoegd aan het oppervlak van het filmmateriaal, zodat de thermische efficiëntie hoog is en de warmtegeleiding en warmtestralingsverliezen klein zijn.
3. Boogverwarmingverdampingplaten: een verwarmingsmethode vergelijkbaar met de elektronenstraalverwarmingsmethode is de boogafvoerverwarmingsmethode. Het heeft ook de kenmerken van het vermijden van de besmetting van weerstandsverwarmingsmaterialen of smeltbare materialen, en heeft de kenmerken van een hoge verwarmingstemperatuur, vooral geschikt voor de verdamping van refractaire metalen, grafiet, enz. Met een hoog smeltpunt en bepaalde geleidbaarheid.
Tegelijkertijd is de apparatuur die in deze methode wordt gebruikt eenvoudiger dan die van het elektronenstraalverwarmingsapparaat, dus het is een relatief goedkoop verdampingsapparaat.
4. Laserbundelverdampingplaten: de methode voor het gebruik van gepulseerde laser met hoge vermogensdichtheid om materialen te verdampen om dunne films te vormen, wordt in het algemeen laserverdamping genoemd
5. Hoogfrequente inductie Verwarming Verdamping Plating: gebruik het principe van inductieverwarming om het metaal tot de verdampingstemperatuur te verwarmen.
De smeltkroes die het filmmateriaal bevat, wordt in het midden van de spiraalvormige spoel geplaatst en een hoogfrequente stroom wordt door de spoel geleid, zodat het metalen filmmateriaal stroom kan genereren om zichzelf te verwarmen totdat het verdampt.
Kenmerken van inductieverwarmingsverdampingsbron:
1. Hoge verdampingssnelheid
2. De temperatuur van de verdampingsbron is uniform en stabiel, en het is niet eenvoudig om aluminium druppel splash -fenomeen te produceren
3. De verdampingsbron is in één keer opgeladen, er is geen draadvoermechanisme vereist, de temperatuurregeling is relatief eenvoudig en de bewerking is eenvoudig
4. De vereisten voor de zuiverheid van het membraanmateriaal zijn iets breder.