Wat is het werkingsprincipe van kathodische boogionenplating?

Allereerst is de boog die naald (anode) met positieve potentiaal raakt, dicht bij het doel (kathode) met negatieve potentiaal. Wanneer de afstand tussen de anode en de kathode klein genoeg is, zal het gas tussen de twee elektroden worden afgebroken, waardoor een boogstroom ontstaat, die vergelijkbaar is met de boog die ontstaat bij elektrisch lassen. Op dit moment wordt een deel van N2 geïoniseerd om stikstofkationen en elektronen te vormen.

Aangetrokken door de elektrische veldkracht, zal het stikstofkation naar de kathode nabij het doelwit vliegen en het elektron naar de boogontstekingsnaald. De massa van het ion is echter veel groter dan die van het elektron. Daarom zal onder dezelfde elektrische veldkracht de bewegingsafstand van het elektron groter zijn dan die van het kation. Daarom, wanneer het elektron de anode bereikt, zal het ion het kathodedoel niet bereiken, maar naar de boogontstekingsnaald vliegen. De positieve ionenaccumulatielaag wordt gevormd nabij het doeloppervlak.

De afstand tussen het kation en het doeloppervlak van de kathode is erg klein, tot op micronniveau. Volgens e = u / D is te zien dat het elektrische veld in de ruimte op dit moment extreem hoog is, wat de elektronen uit het doelwit zal "trekken". De "getrokken" elektronen vliegen van het kathodedoel naar de positieve ionenaccumulatielaag en vormen een stroom. De stapellaag is verbonden met het doeloppervlak en er wordt een boog gegenereerd nabij het doeloppervlak.

Tegelijkertijd zullen de positieve ionen worden aangetrokken door het kathode-doeloppervlak, waardoor de positieve ionen het doeloppervlak bombarderen en sputteren produceren. Omdat de filmdeeltjes verdampt of gesputterd moeten worden door de positieve ionenaccumulatielaag, en terwijl ze uit het kathodedoeloppervlak vliegen, zullen de filmdeeltjes worden beïnvloed door de boog op het doeloppervlak, dus de meeste deeltjes aankomen bij het werkstuk zijn ionische toestand.

De negatieve voorspanning wordt meestal op het werkstuk toegepast, dus de positieve ionen vliegen naar het werkstuk onder invloed van elektrische veldkracht en bombarderen het werkstuk Fabrikanten van DLC-coatingmachines . Dit bombardement zal de hechting van de film verbeteren en de wrijving dicht maken, wat zeer gunstig is om de kwaliteit van de film te verbeteren.

Als u meer wilt weten, kunt u ook contact met ons opnemen.

NINGBO DANKO VACUM TECHNOLOGY CO., LTD.

Sara

Telefoon: 86-15867869979

E-mail: [email protected]

Wechat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979