Wat is het werkende principe van kathodische boogionen?

Allereerst ligt de boog opvallende naald (anode) met een positief potentieel dicht bij het doelwit (kathode) met negatief potentieel. Wanneer de afstand tussen de anode en de kathode klein genoeg is, zal het gas tussen de twee elektroden worden afgebroken, waardoor een boogstroom wordt gevormd, die vergelijkbaar is met de boog van elektrisch lassen. Op dit moment wordt een deel van N2 geïoniseerd om stikstofkationen en elektronen te vormen.

Aangetrokken door de elektrische veldkracht, vliegt het stikstofkation naar de kathode bij het doelwit en vliegt het elektron naar de boogontstekingsnaald. De massa van het ion is echter veel groter dan die van het elektron. Daarom zal onder dezelfde elektrische veldkracht de bewegingsafstand van het elektron groter zijn dan die van het kation. Daarom, wanneer het elektron de anode bereikt, zal het ion het kathodedoel niet bereiken, maar vliegt het naar de boogontstekingsnaald, wordt de positieve ionenaccumulatielaag gevormd nabij het doeloppervlak.

De afstand tussen het kation en het doeloppervlak van de kathode is erg klein, tot micron niveau. Volgens E = U / D is te zien dat het elektrische veld in de ruimte op dit moment hoog is, die de elektronen uit het doelwit "trekt". De "getrokken" elektronen vliegen van het kathodedoel naar de positieve ionenaccumulatielaag, waardoor een stroom wordt gevormd. De stapellaag is verbonden met het doeloppervlak en een boog wordt gegenereerd nabij het doeloppervlak.

Tegelijkertijd zullen de positieve ionen worden aangetrokken door het doeloppervlak van de kathode, waardoor de positieve ionen het doeloppervlak bombarderen en sputteren produceren. Naarmate de filmdeeltjes zijn verdampt of gesputterd om door de positieve ionenaccumulatielaag te gaan, en tijdens het vliegen uit het kathode -doeloppervlak, zullen de filmdeeltjes worden beïnvloed door de boog aan het doeloppervlak, dus van de deeltjes die aan het werkstuk aankomen, zijn ionische toestand.

De negatieve biasspanning wordt meestal op het werkstuk toegepast, zodat de positieve ionen naar het werkstuk vliegen onder de actie van elektrische veldkracht en het werkstuk bombarderen Fabrikanten van DLC -coatingmachine . Dit bombardement zal de hechting van de film verbeteren en de wrijving dicht maken, wat zeer gunstig is om de kwaliteit van de film te verbeteren.

Als u meer wilt weten, kunt u ook contact met ons opnemen.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Sara

Telefoon: 86-15867869979

E -mail: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979