Welke factoren zullen de coatingprestaties van een vacuümcoatingmachine beïnvloeden?

Welke factoren zijn van invloed op de coatingprestaties van? vacuüm coating machine ?

Als een vacuümcoatingmachine een goede film wil coaten, moet deze ervoor zorgen dat veel factoren in een normale staat verkeren, zoals vacuümcoaten, basisdoelafstand, verdampingstemperatuur, substraattemperatuur, restgasdruk en andere factoren. Er is een afwijking in een bepaalde factor. Het zal de prestaties van de coatinglaag van de vacuümcoatingmachine beïnvloeden. Het volgende is een vacuüm-editor om in detail uit te leggen welke factoren de coatingprestaties van de vacuümcoatingmachine zullen beïnvloeden. Ik hoop dat het je kan helpen:

1. Verdampingssnelheid:

De grootte van de verdampingssnelheid heeft een grote invloed op de afgezette film. Omdat de coatingstructuur die wordt gevormd door de lage depositiesnelheid los is en gemakkelijk grote deeltjes kunnen worden afgezet, is het zeer veilig om een ​​hogere verdampingssnelheid te kiezen om de compactheid van de coatingstructuur te waarborgen. Wanneer de druk van het resterende gas in de vacuümkamer constant is, is de bombardementssnelheid van het bombarderen van het substraat een constante waarde. Daarom zal, na het selecteren van een hogere afzettingssnelheid, het resterende gas in de afgezette film worden verminderd, waardoor de chemische reactie tussen de resterende gasmoleculen en de deeltjes van het verdampte filmmateriaal wordt verminderd. Daarom kan de zuiverheid van de afgezette film worden verbeterd. Opgemerkt moet worden dat als de afzettingssnelheid te hoog is, dit de interne spanning van de film kan verhogen, wat resulteert in een toename van defecten in de filmlaag, en zelfs barsten van de filmlaag in ernstige gevallen. In het bijzonder kan bij reactieve verdamping een lagere depositiesnelheid worden gekozen om het reactiegas en de verdampte filmmateriaaldeeltjes voldoende te laten reageren. Natuurlijk moeten verschillende verdampingssnelheden worden gebruikt voor verschillende materiaalverdamping. Een praktisch voorbeeld van hoe een lage afzettingssnelheid de prestatie van een film kan beïnvloeden, is de afzetting van een reflecterende film. Als de filmdikte bijvoorbeeld 600x10-8cm is en de verdampingstijd 3s is, is de reflectiviteit 93%. Als de verdampingssnelheid echter wordt vertraagd onder dezelfde filmdikte, duurt het 10 minuten om de filmafzetting te voltooien. Op dit moment is de dikte van de film hetzelfde. De reflectiviteit is echter gedaald tot 68%.

2. Ondergrond temperatuur

Ook de ondergrondtemperatuur heeft een groot effect op de verdampende coating. Resterende gasmoleculen die bij hoge substraattemperaturen op het substraatoppervlak zijn geadsorbeerd, worden gemakkelijk verwijderd. Met name het uitsluiten van waterdampmoleculen is belangrijker. Bovendien is het niet alleen gemakkelijk om de overgang van fysische adsorptie naar chemische adsorptie bij een hogere temperatuur te bevorderen, waardoor de bindingskracht tussen deeltjes wordt vergroot. Bovendien kan het verschil tussen de herkristallisatietemperatuur van de dampmoleculen en de substraattemperatuur worden verminderd, waardoor de interne spanning op het film-substraatgrensvlak wordt verminderd of geëlimineerd. Bovendien, aangezien de substraattemperatuur gerelateerd is aan de kristallijne toestand van de film, hebben amorfe of microkristallijne coatings de neiging om gemakkelijk gevormd te worden onder lage of geen verhittingsomstandigheden op het substraat. Omgekeerd, wanneer de temperatuur hoger is, is het gemakkelijk om een ​​kristallijne coating te genereren. Het verhogen van de substraattemperatuur is ook gunstig voor de verbetering van de mechanische eigenschappen van de coating. Uiteraard mag de ondergrondtemperatuur niet te hoog zijn om herverdamping van de verdampte coating te voorkomen.

3. Invloed van restgasdruk in vacuümkamer op filmprestaties

De druk van het restgas in de vacuümkamer heeft een grote invloed op de membraanprestaties. Als de druk te hoog is, kunnen de resterende gasmoleculen niet alleen gemakkelijk botsen met de verdampte deeltjes, zodat de kinetische energie van de mensen die op het substraat schieten, wordt verminderd, wat de hechting van de film beïnvloedt. Bovendien zal een te hoge restgasdruk de zuiverheid van het membraan ernstig aantasten en de prestatie van de coating verminderen.

4. Het effect van verdampingstemperatuur op de verdampingscoating:

Het effect van de verdampingstemperatuur op de filmprestaties wordt weergegeven door de verdampingssnelheid als functie van de temperatuur. Wanneer de verdampingstemperatuur hoog is, zal de verdampingswarmte afnemen. Als het filmmateriaal boven de verdampingstemperatuur wordt verdampt, kan zelfs een kleine verandering in temperatuur een snelle verandering in de verdampingssnelheid van het filmmateriaal veroorzaken. Daarom is het erg belangrijk om de verdampingstemperatuur nauwkeurig te regelen tijdens het afzetten van de film om een ​​grote temperatuurgradiënt te vermijden wanneer de verdampingsbron wordt verwarmd. Voor het foliemateriaal dat makkelijk te sublimeren is, wordt het foliemateriaal zelf als verwarmer gekozen en zijn ook maatregelen als verdamping erg belangrijk. .

De bovenstaande vier aspecten zijn de meest voorkomende factoren die de prestaties van de coatinglaag van de vacuümcoatingmachine beïnvloeden, en het zijn ook de meest conventionele beïnvloedende factoren. Tijdens het coatingproces van de vacuümcoatingmachine is het noodzakelijk om ervoor te zorgen dat deze factoren in een normale staat verkeren.3