Wat zijn de stappen om de vacuümcoatingmachine te gebruiken?

Vacuüm coating machine verwijst voornamelijk naar een type coating dat moet worden uitgevoerd onder een hoger vacuüm, waaronder vele soorten, waaronder vacuümweerstand, verwarmingsverdamping, elektronenkanonverwarmingsverdamping, magnetronsputteren, MBE-moleculaire bundelepitaxie, PLD-laserverstuivingsafzetting, ion. Er zijn veel soorten bundelsputteren. Het hoofdidee is verdeeld in twee soorten verdamping en sputteren.

Bediening elektrische schakelkast
1. Zet de waterpomp en luchtbron aan.
2. Schakel de hoofdvoeding in.
3. Schakel de voeding van de onderhoudspomp en de vacuümmeter in, de vacuümmeterpositie V1, wacht tot de waarde lager is dan 10 en ga dan naar de volgende stap. Het duurt ongeveer 5 minuten.
4. Schakel de mechanische pomp in, voorpomp, schakel de kracht van de moleculaire turbopomp in en start deze. De vacuümmeterschakelaar wordt gewijzigd in de V2-positie. Het duurt ongeveer 20 minuten om terug te pompen tot minder dan 2.
5. Nadat u hebt waargenomen dat de aflezing van de turbomoleculaire pomp 250 bereikt, schakelt u de voorpomp uit, zet u de hulppomp en de hoogvacuümklep aan om door te gaan met stofzuigen. Nadat het vacuüm een ​​bepaald niveau heeft bereikt, zet u de hoogvacuümmeter aan de rechterkant aan om het vacuüm te observeren. Pas nadat het vacuüm 2×10-3 heeft bereikt, kan de voeding van het elektronenkanon worden ingeschakeld.

DEF-6B werking
1. Totale voeding.
2. Schakel tegelijkertijd de voeding voor de elektronenkanonbesturing Ⅰ en de elektronenkanonregeling Ⅱ in: druk op de voeding voor de elektronenkanonregeling Ⅰ, de vertragingsschakelaar, de vertragings-, voedings- en beveiligingslampjes zijn aan. Na drie minuten zijn de vertragings- en beveiligingslampjes uit. Als de achterdeur niet is gesloten of als het waterstroomrelais een storing heeft, zal het beveiligingslampje altijd branden.
3. Wanneer de hoogspanning is ingeschakeld, zal de hoogspanning meer dan 10KV bereiken, de straalstroom kan worden aangepast tot ongeveer 200mA, het gordijnraster is 20V/100mA, de gloeistroom is 1,2A en de afbuigstroom schommelt tussen 1 en 1.7.

Afsluitvolgorde
1. Schakel de hoogvacuümmeter en de moleculaire pomp uit.
2. Wanneer de weergave van de moleculaire pomp 50 bereikt, zet u beurtelings de hoge klep, de voortrap en de mechanische pomp uit. Deze periode duurt ongeveer 40 minuten.
3. Als het onder de 50 is, zet u de onderhoudspomp weer uit.3