1. Vacuümkamer
coating apparatuur heeft hoofdzakelijk twee vormen: continue coatingproductielijn en eenkamercoatingmachine, roestvrijstalen materiaalproductie, argonbooglassen, chemische oppervlaktebehandeling en verschillende specificaties van flensinterfaces worden op de vacuümkamercomponenten gelast.
2, vacuümaanwinstdeel:
In vacuümtechnologie is het vacuümacquisitiegedeelte een belangrijk onderdeel. Het verkrijgen van vacuüm kan niet worden bereikt door een enkele vacuümapparatuur en -methode. Er moeten meerdere pompen in combinatie worden gebruikt, zoals mechanische pompen, Roots-pompen, moleculaire pompsystemen, etc.
3, vacuümmetingsdeel:
Het vacuümmeetgedeelte van het vacuümsysteem is om de druk in de vacuümkamer te meten. Net als een vacuümpomp kan geen enkele vacuümmeter het hele vacuümbereik meten, dus mensen hebben veel soorten vacuümmeters gemaakt volgens verschillende principes en vereisten. Zoals thermokoppelmeter, ionisatiemeter, Pirani-meter, enz.
4. Voedingsonderdeel:
De doelvoeding omvat hoofdzakelijk gelijkstroomvoeding, middenfrequentievoeding, pulsvoeding en radiofrequentievoeding (RF). Veelvoorkomende fabrikanten van voedingen zijn AE, ADL, Hottinger, enz.
5. Invoersysteem voor procesgas
Procesgassen, zoals argon (Ar), krypton (Kr), stikstof (N2), acetyleen (C2H2), methaan (CH4), waterstof (H2), zuurstof (O2), enz., worden over het algemeen aangevoerd door gascilinders. Gasdrukreduceerventiel, gasafsluiter, pijpleiding, gasstroommeter, magneetventiel, piëzo-elektrische klep en vervolgens in de vacuümkamer. Het voordeel van dit gasinvoersysteem is dat de pijpleiding eenvoudig en overzichtelijk is en dat de gasfles eenvoudig te repareren of te vervangen is. De coatingmachines hebben geen invloed op elkaar. Er zijn ook gevallen waarin meerdere coatingmachines een set gasflessen delen. Deze situatie kan worden gezien in sommige grootschalige coatingwerkplaatsen. Het voordeel is dat het de bezetting van gasflessen, uniforme planning en uniforme lay-out vermindert. Nadeel is dat door de toename van het aantal verbindingen de kans op luchtlekkage toeneemt. Bovendien zullen de coatingmachines met elkaar interfereren en kan de pijpleiding van een coatingmachine lucht lekken, wat de productkwaliteit van andere coatingmachines kan beïnvloeden. Bovendien is het bij het vervangen van gasflessen noodzakelijk om ervoor te zorgen dat alle machines zich in een niet-gastoestand bevinden.
6. Mechanisch transmissiedeel:
De coating vereist dat de dikte van de omtrek uniform is. Daarom moeten er drie rotaties in het coatingproces zijn om aan de vereisten te voldoen. Dat wil zeggen, terwijl de grote werkstuktafel moet draaien (I), roteert de kleine werkstukdrager ook (II) en kan het werkstuk zelf tegelijkertijd roteren (III). Bij mechanisch ontwerp is er over het algemeen een groot aandrijftandwiel in het midden van de onderkant van de grote werkstukdraaitafel en enkele kleine sterwielen passen erin. Als het product moet worden geroteerd, wordt het werkstuk in het algemeen geroteerd door een schakelvork.
7, deel verwarming en temperatuurmeting:
Coatingapparatuur heeft over het algemeen verwarmers in verschillende posities en thermokoppels worden gebruikt om de temperatuur te meten en te regelen. Omdat de klempositie van het thermokoppel echter verschilt van de positie van het werkstuk, kan de temperatuuraflezing niet de werkelijke temperatuur van het werkstuk zijn. Om de ware temperatuur van het werkstuk te meten, zijn er veel methoden, u kunt testpapier voor hoge temperaturen of een thermokoppelmeter op het werkstuk installeren.
8. Ionenverdamping en sputterbron
De verdampingsbron van multi-arc-plating heeft over het algemeen de vorm van een ronde cake, algemeen bekend als een round cake-doel, en er zijn ook rechthoekige multi-arc-doelen. In de doelbasis is een magneet geïnstalleerd. Door de magneet heen en weer te bewegen, wordt de intensiteit van het magnetische veld gewijzigd en kunnen de bewegingssnelheid en het traject van de boogvlek worden aangepast. Om de temperatuur van het doel en de doelbasis te verlagen, moet de doelbasis continu worden voorzien van koelwater. Om een hoge elektrische en thermische geleidbaarheid tussen het doel en de doelbasis te garanderen, kan ook een tinnen pakking worden toegevoegd tussen het doel en de doelbasis. Magnetron sputtercoating maakt in het algemeen gebruik van rechthoekige of cilindrische sputterkathoden.
9, waterkoelingssysteem;
bestaat over het algemeen uit koudwatertoren, ijswatermachine, waterpomp, enz.
10, industrieel controlesysteem3
Español
Portugees