Verdampingsvacuümcoatingmachine en fysiek principe- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Verdampingsvacuümcoatingmachine en fysiek principe

De verdamping vacuümcoatingmachine bestaat voornamelijk uit een vacuümcoatingkamer en een vacuümpompsysteem. Er zijn verdampingsbronnen (dwz verdampingsverwarmers), substraten en substraathouders, elektrodestaven, voedingen, smeltkroes, substraatverwarmers, uitlaatsystemen, enz. In de vacuümkamer.

Het coatingmateriaal wordt in de verdampingsbron in de vacuümkamer geplaatst. Onder hoge vacuümomstandigheden wordt de verdampingsbron verwarmd om deze te verdampen. Wanneer het gemiddelde vrije pad van de dampmoleculen groter is dan de lineaire grootte van de vacuümkamer, zullen de atomen en moleculen van de filmdamp verdampen uit de verdampingsbron. Nadat het bronoppervlak ontsnapt, wordt het zelden in botsing gebracht en gehinderd door andere moleculen of atomen, en kan het rechtstreeks het oppervlak van het te plaatsen substraat bereiken. Vanwege de lage temperatuur van het substraat condenseren de dampdeeltjes van het filmmateriaal erop om een film te vormen.

Om de hechting tussen de verdampte moleculen en het substraat te verbeteren, kan het substraat worden geactiveerd door geschikte verwarming of ionenreiniging. Het fysieke proces van vacuümverdampingscoating van materiaalverdamping, transport naar afzetting en filmvorming is als volgt:

1. Gebruik verschillende methoden om andere vormen van energie om te zetten in warmte -energie, het filmmateriaal te verwarmen om te verdampen of subliem te worden en gasvormige deeltjes (atomen, moleculen of atoomgroepen) te worden met een bepaalde energie (0,1 ~ 0,3ev):

2. De gasvormige deeltjes verlaten het oppervlak van het membraanmateriaal en worden naar het oppervlak van het substraat getransporteerd in een rechte lijn met een substantiële bewegingssnelheid zonder botsing;

3. De gasvormige deeltjes die het oppervlak van de substraatcondense en nucleaten bereiken en groeien in een vaste film;

4. De atomen die de film vormen, worden gereorganiseerd en gerangschikt of chemisch gebonden.