Hoe het elektronenkanon van de optische coatingmachine te onderhouden en te installeren?

De optische coatingmachine: bestaat voornamelijk uit een machinekamer voor vacuümcoating, een vacuümafzuiging en een elektrische kast (schakelkast, elektrische kast voor elektronenkanon), en wordt gebruikt in micro-elektronica, optische filmvorming, civiele decoratie, oppervlaktetechniek en enere gebieden. Het werkingsprincipe van optische coatingapparatuur is om elektronenstralen te gebruiken om metalen of niet-metalen materialen te verwarmen tot een geschikte temperatuur onder hoog vacuüm en vervolgens te verdampen tot dampmoleculen. De gemiddelde vrije weg is groter dan de afstand van de verdampingsbron tot het te verdampen substraat. De verdampte dampmoleculen worden in alle richtingen geleid en op het oppervlak van het substraat afgezet om een ​​dunne film te vormen. Laat me het hebben over de installatie- en onderhoudsmethoden van het elektronenkanon:
Het besturingssysteem voor de voeding van het elektronenkanon bestaat uit een gloeidraadvoeding, een hoogspanningsvoeding, een scanvoeding, een smeltkroes-aandrijfvoeding, een verdampingsvoeding enzovoort.
Het elektronenkanon regelt de hoogspanning in de schakelkast. De normale werking van elk vergrendelingsapparaat van de kastdeur is vereist vóór het werk. Niet-professionals mogen de deur van de elektrische kast niet openen. Tijdens het werken mag het elektronenkanon de deur van de schakelkast niet openen. De schakelkast van de gehele optische coatingmachine moet goed worden geaard en aangesloten op de machineaarding.
De stoombron van het elektronenkanon is geïnstalleerd op de bodemplaat van de vacuümkamer en moet een goed aardingseffect hebben met de bodemplaat. De installatie van de stoombron moet worden bevestigd met roestvrijstalen schroeven en er mag geen magnetisch materiaal binnen 200 mm rondom zijn, anders zal dit de lichtvlek van het elektronenkanon beïnvloeden en slechte elektronische prestaties veroorzaken. Het schot van het elektronenkanon moet zo ver mogelijk 30 mm boven het midden van de verdampingsbronkroes worden geïnstalleerd, om de emissie van de elektronenstraal niet te beïnvloeden.
De stoombron van het elektronenkanon is een nauwkeurig bewerkt lichaam en tijdens het werken is goed koelwater vereist. Een te hoge temperatuur zal de vorming van de elektronenstraal en de prestatie van elke afdichtring beïnvloeden.
(1) Elektronische pistoolkop
De installatie van de pistoolkop heeft rechtstreeks invloed op de normale werking van het pistool. 90% van de storingen zijn gerelateerd aan de punt van het pistool.
Nadat de punt een tijdje is gebruikt, zal deze vanwege de vervuiling van de componenten de vorming en het vermogen van de elektronenstraal beïnvloeden, dus deze moet worden gedemonteerd en schoongemaakt.
(2) Onderhoud van smeltkroes:
Voordat u de smeltkroes demonteert, moet u het watercircuit sluiten en perslucht gebruiken om het water in de koelbuis van het elektronenkanon schoon te blazen.
(3) Onderhoud van magnetische geleidende plaat en scanring
De geleideplaat en permanente magneet van de optische coatingmachine hoeven niet vaak te worden gedemonteerd en onderhouden. Als u moet demonteren, let dan op de polariteitsrichting van de permanente magneet en de richting van de geleideplaat. Omdat de installatieruimte van de spoel dicht is, wrik dan niet met scherpe voorwerpen, anders zal het schade veroorzaken.

Opgericht in 2007 als de vorige naam Huahong Vacuümtechnologie, is professioneel; China Leveranciers van optische filmcoatingmachines and Leveranciers van optische filmcoatingmachines ,inclusief maar niet beperkt tot sputtersystemen, optische coatingeenheden, batchmetallisators, Physical Vapour Deposition (PVD)-systemen, harde en slijtvaste vacuümcoatingdepositieapparatuur, glas, PE, PC-substraatcoaters, rol-naar-rolmachines voor het coaten van flexibele substraten. De machines worden gebruikt voor een breed scala aan toepassingen die hieronder worden beschreven (maar niet beperkt tot) automobiel-, decoratieve, harde coatings, gereedschaps- en metaalbewerkingscoatings en dunne filmcoatingtoepassingen voor industriële en laboratoria, waaronder universiteiten.Danko Vacuum Technology Company Ltd is toegewijd om onze marktgrenzen te verleggen door hoogwaardige, hoogwaardige en groothandelsprijzen voor optische filmcoatingmachines te bieden. Ons bedrijf is sterk gericht op after-sales service op binnenlandse en internationale markten, en biedt nauwkeurige plannen voor het verwerken van onderdelen en professionele oplossingen om aan de behoeften van klanten te voldoen.3