Gemeenschappelijke vacuümterminologie5

1.diffusie van gas: gas beweegt in een ander medium vanwege de concentratiegradiënt. Medium kan een ander gas zijn (diffusie heet in dit geval interdiffusie) of een condenseerbare stof.
2.D diffusiecoëfficiënt; diffusiviteit: de verhouding van het absolute massadebiet per oppervlakte-eenheid tot de normale concentratiegradiënt per oppervlakte-eenheid wordt verkregen. China PVD-platingmachine Leveranciers:
3. viskeuze stroom: het gemiddelde vrije pad van het gasmolecuul is veel kleiner dan de minimale doorsnede van het kanaal. Daarom hangt de stroom af van de viscositeit van het gas, die laminair of stilstaand kan zijn.
4.η viskeuze factor：De verhouding van tangentiële kracht tot snelheidsgradiënt per oppervlakte-eenheid in de richting van de luchtstroomsnelheidsgradiënt.
5.sorptie: het vangen van gas of damp (adsorbaat) door vast of vloeibaar (adsorbens).3