Gemeenschappelijke vacuümterminologie 3

1. bereiken van vacuüm: het vacuümgebied is ruwweg als volgt verdeeld:

Pa        Torr

Laag vacuüm:            10 ⁵ ～10 ² 760～1
Gemiddeld vacuüm:          10 ² ～10 ^-1 1～10 ^-3

Hoog vacuüm:            10 ^-1 ～10 ^-5 10 ^-3 ～10 ^-7

Ultrahoog vacuüm:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. gas: Stoffen die vrij zijn om elke ruimte in te nemen en niet onderhevig zijn aan intermoleculaire interacties. Opmerking: In vacuümtechnologie wordt de term "gas" niet strikt toegepast op niet-condenseerbare gassen en stoom.
3. n，m-3 getalsdichtheid van moleculen：Op een gegeven moment is de China PVD-platingmachine Leveranciers: aantal moleculen in het volume rond een punt in het gas wordt gedeeld door dat volume.
4. ι、λ，m gemiddeld vrij pad：De afstand die een molecuul aflegt met andere gasvormige moleculen elke twee opeenvolgende botsingen wordt vrij pad genoemd. Het gemiddelde van een flink aantal verschillende vrije paden wordt het gemiddelde vrije pad genoemd.3