Gemeenschappelijke vacuümterminologie 10

1. Onderhoudspomp: in het vacuümsysteem is het luchtvolume erg klein en kan de voorpomp niet effectief worden gebruikt. Voor dit doel is een kleine hulppomp uitgerust om de hoofdpomp te onderhouden, die de onderhoudspomp wordt genoemd. Als er een kleine draaischuifpomp aan de uitlaat van de diffusiepomp is geïnstalleerd, is dit de onderhoudspomp. China PVD-coatingmachine Leveranciers:
2.vacuümcoating: een methode voor het maken van een film op een substraat in vacuüm.
3. Substraat: Membraanacceptor.
4.testsubstraat：Substraat gebruikt voor meting en/of test aan het begin, tijdens of na het coaten.
5.coating materiaal: Grondstoffen die worden gebruikt om film te maken.
6. sputtermateriaal: coatingmateriaal dat wordt gebruikt voor sputteren bij vacuümsputteren.
7.filmmateriaal: materialen waaruit de film bestaat.
8. sputtersnelheid: in een bepaald tijdsinterval wordt de hoeveelheid gesputterd materiaal gedeeld door het tijdsinterval.
9.depositiesnelheid: in een bepaald tijdsinterval wordt de hoeveelheid materiaal die op het substraat wordt afgezet gedeeld door het tijdsinterval en het oppervlak van het substraat.33