Veelgebruikte vacuümlekdetectiemethoden

Lekdetectie door heliummassaspectrometrie

Deze technologie is een onmisbare technologie op het gebied van vacuümlekdetectie. Het wordt veel gebruikt bij lekdetectie vanwege de hoge lekdetectie-efficiëntie, eenvoudige bediening, gevoelige instrumentrespons, hoge precisie en niet China PVD-coatingsystemen leveranciers gemakkelijk gestoord door andere gassen. Helium massaspectrometer lekdetector is een soort gasdichtheidsdetectie-instrument op basis van het massaspectrometrieprincipe, dat helium gebruikt als lekindicatorgas. Het is samengesteld uit een ionenbron, een analysator, een collector, een koude-kathode-ionisatiemeter, een massaspectrometriekamer, een uitlaatsysteem en een elektrisch gedeelte. Elektronen die door de gloeidraad in de massaspectrometriekamer worden uitgezonden, oscilleren heen en weer in de kamer en botsen met het binnengas en helium dat de kamer binnenkomt via het lekkende gat om te ioniseren tot positieve ionen. Deze heliumionen komen het magnetische veld binnen onder de linker- en rechterhersenen van het versnelde elektrische veld, en buigen af ​​door de werking van Lorentzkracht, vormen een cirkelvormige boogbaan en veranderen het versnelde elektrische veld. Door druk kunnen ionen met verschillende massa worden gedetecteerd door de ontvangende pool te bereiken via magnetische velden en ontvangstsleuven. Helium-injectiemethode en heliumabsorptiemethode zijn de twee meest gebruikte methoden bij lekdetectie van heliummassaspectrometer.33